에프에스티

반도체와 디스플레이 노광공정에서 마스크를 보호

마스크와 레티클 표면을 대기 중 분자나 다른 형태의 오염으로부터 보호해주는 박막

노광공정의 높은 수율 달성과 포토마스크의 수명을 연장해주는 역할

식각, 에칭, 증착 등의 공정에서 온도를 일정하게 유지

펠리클 압도적 1위 (삼성전자 내)

20200922 리딩 리서치 신지훈

시스템 반도체는 메모리 반도체와 달리 다품종 소량생산이 주를 이루고 있어, 마스크 사용량과 탈부착 횟수가 많아지게 된다. → 이에 펠리클 수요는 더욱 증가하여 삼성전자의 시스템반도체 성장은 Q 증가

5nm 공정에서 펠리클 없이 크리닝으로만 진행되고 있다. 펠리클이 없으면 마스크 오염정도를 확인하는 검사 장비가 필수적으로 있어야 하고 마스크 교체량과 교체주기도 늘어나기 때문에 수익성 개선이 쉽지 않다.

동사는 EUV용 펠리클 개발을 진행 중이고 삼성전자 5nm 양산라인 도입 스케줄에 맞춰 출시를 목표하고 있다.

공격적으로 파운드리를 확대하는 삼성전자는 시스템 반도체 시장에서 1위를 하겠다는 목표를 세웠다. 메모리 시장보다 시스템 반도체 시장이 약 3배 큰 규모이다. TSMC와 격차를 좁히고 미래 먹거리로 시스템 반도체에 집중하겠다는 뜻으로 해석할 수 있다.

LG 이노텍과 LG 디스플레이가 주 고객사이고 OLED 신규 투자와 함께 펠리클 사용량이 증가하고 있다.

칠러는 반도체 및 디스플레이 공정 중 식각공정에서 과도한 열의 발생에 의해 챔버내의 웨이퍼나 주변 온도를 일정하게 유지함으로서 공정효율을 개선하는 장비

아빠의 삶